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0.1 mm以下の薄肉を切削加工により実現しました。 精密工学会誌Vol.69,No.3(2003)P375〜379の技術により加工したものです。

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ループを描く溝や、端から端へ抜け出る溝の加工は容易ですが、面内にある線分状の溝は製作が難しく、さらに両端に垂直な壁を持つ止り溝は非回転工具でないと作れません。 加工物は、両端に止り溝をもつ円弧とS字状のマイクロ溝パターン
(幅40 μm、長さ600 μm、深さ40 μm)を超精密加工で創成した例です。

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液晶導光板金型の加工などに用いられるフライカットを応用し、加工しました。 長さ約300 μm、幅約85 μmの切削痕5,750点で構成しています。 画像処理によりNCプログラムを作成することで、写真に忠実に仕上げています。